-
์ฃผ์ ๋ ธํธ/ํ๋ฃจ 3๋ถ ์ฃผ์
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ, ํน์๊ฐ์ค ๋ถ์ผ ์ธ๊ณ 1์ ๐ฅ ์ธ๊ณ์์ฅ ์ ์ ์จ 1์ ๐
2022. 5. 13.
728x90๋ฐ์ํSMALL์๋ ํ์ธ์! ํธ๊ธฐ์ฌ ๋์ฅ ๋ถ์คํฐ์ ๋๋ค. ๐
์ค๋์ ํ๋ณตํ ๊ธ์์ผ์ ๋๋ค ใ
๋๋์ด ๊ทธ๋ ์ด ์ค๊ณ ์์ต๋๋ค ใ
D-1์ผ์ ๋๋ค ๐บ
์ค๋์ ์ด๋ค ๊ธ์์ผ๋ณด๋ค ๊ธฐ๋ถ์ด ์ข์ต๋๋ค ใ
๋ ์ ์ฌ๋ฌ๋ถ๋ค๋ ๊ธ์์ผ์ด๋ผ ๊ธฐ๋ถ์ด ์ข์ผ์์ฃ ?
๋ค๋ค ์ฃผ๋ง์ ๊ณํ์ด ์์ผ์ ๊ฐ์?
์ ๋ ์์ํ ๋ฐ๋ค๋ฅผ ๋ณด๋ฌ ๊ฐ๋ ค๊ณ ๊ณํ ์ค์ ์์ต๋๋ค ๐
์์ ๋ ์จ๊ฐ ๋๋ฌด ๋์ ๋ฐ์ ์ ๊น ์์์์ด๋ ๋จธ๋ฆฌ๊ฐ ๋จ๊ฑฐ์์ง๊ณ ,,
์ฐจ๋ฅผ ํ๋ฉด ๋๋ฌด ๋จ๊ฑฐ์์ ์ฐจ๋ ๋ชป ํ ์ ๋์ ๋ ์จ๋ก ์์ฒญ ๋จ๊ฒ๋ค์.
์ฃผ๋ง์ ๋ฐ๋ค์ ๋๋ฌ ๊ฐ์ ์์ํ ๋ฐ๋๋ ์ฌ๊ณ , ํ๋ ๋จน๊ณ ใ
์์ํ ์๋ฃ๋ฅผ ๋ง์๋ฉฐ์ค๋๋ง์ ์ฌ์ ๋ฅผ ์ฆ๊ฒจ๋ด์ผ๊ฒ ์ต๋๋ค ใ ใ
๋๋ฌด ๊ธฐ๋๊ฐ ๋ฉ๋๋ค ใ
์ค๋ ์๊ฐํด๋๋ฆด ๊ธฐ์ ํน์๊ฐ์ค ๊ด๋ จ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค.โ
๋ฐ๋ก ์๊ฐํด๋๋ฆฌ๊ฒ ์ต๋๋ค.
๐ ์นด์นด์ค ๋ทฐ ํ์๋์? ๐
๐ ์นด์นด์ค ๋ทฐ ์ฑ๋ ๊ฐ์คํ์ด์! ์น๊ตฌ ์ถ๊ฐ ๋ถํ๋๋ฆฝ๋๋ค.ํธ๋ฆฌ๋ง์
์ฃผ์ โช ์ฝ์ธ โช ์ฌํ ํฌ โช ๋ถ๋์ฐ ์ฌํ ํฌ๋ฅผ ํ๊ณ ์๋ ํธ๊ธฐ์ฌ ๋ง์ ๋ถ์คํฐ ์ ๋๋ค!
pf.kakao.com
ํธ๊ธฐ์ฌ ๋ง์ ๊ณ ๋ฑํ์์ ์ฒซ ๊ฒฝํ(2)
๊ณ ๋ฑํ๊ต ๋ ํ๊ต์ํ์ ์ด์ฌํ ํ ๋์๋ค. ๊ทธ ์์ ๋๋ ํธ๊ธฐ์ฌ์ด ์์ฃผ ๋ง๊ณ , ์ ๊ทน์ ์ธ ํ์์ด์๋ค. ์ฐ์ฐํ ๊ธฐํ๋ก ํ์ฅ ์ ๊ฑฐ์ ๋น์ ๋์ด ๋์ฑ ์์ฐจ๊ณ ์ฌ๋ฏธ์๋ ํ๊ต ์ํ์ ํ๊ณ ์
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ 1982๋ ์ ์ค๋ฆฝ๋ ๊ธฐ์ ์ผ๋ก 1999๋ ์ ์์ฅ๋์์ต๋๋ค.
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ์์ ์ ์์กดํ๊ณ ์๋ ์ ์์ฐ์ ์์ฌ์ ๊ตญ์ฐํ๋ฅผ ๋ชฉํ๋ก, 2004๋ ์ ์๋ํ ์ ์์ฌ, 2010๋ ์ OCI๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ ๋ฑ์ผ๋ก ์์ฐจ๋ก ์ํธ๋ฅผ ๋ณ๊ฒฝํ๊ณ , 2016๋ 2์ SK ๊ทธ๋ฃน์ ํธ์ ๋๋ฉด์ ํ์ฌ ์ํธ๋ก ๋ณ๊ฒฝ๋์์ต๋๋ค.
์ฃผ์ ๊ด๊ณํ์ฌ๋ก๋ ๊ตญ๋ด 7๊ฐ, ํด์ธ 6๊ฐ์ ํ์ฌ๊ฐ ์์ต๋๋ค.
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด ํจ๋ ์ ์กฐ์ ์ฌ์ฉ๋ผ๋ ํน์๊ฐ์ค์ธ NF3, WF6, SiH4 ๋ฑ ๋ฐ ์ ๊ตฌ์ฒด์ธ High-k, Low-k ํ๋ฆฌ์ปค์ ๋ฑ, ๋ค์ํ ์ฐ์ ๊ตฐ์์ ์ฌ์ฉ๋ ๋ ์ฐ์ ๊ฐ์ค ์ ์กฐ ๋ฐ ํ๋งค ์ฌ์ ์ ์ฃผ๋ ฅ์ผ๋ก ์ด์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ๋ฐ๋์ฒด์ ์ ๊ธฐ์ฐจ ๋ฑ ์ฐจ์ธ๋ ๋ํ ์ฑ์ฅ ์์ญ์ผ๋ก ๊ผฝํ๋ ์ฒจ๋จ ํต์ฌ ์์ฌ ๋ถ์ผ์ ์ฌ์ ๊ธฐํ๋ฅผ ์ ๊ทน์ ์ผ๋ก ๋ฐ๊ตดํ๊ณ , ๊ธ๋ก๋ฒ ์์ฅ์ ์ ์ ํ๊ธฐ ์ํด ํฉ๋ณ๋ ํ์์ต๋๋ค.
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ ๐
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ์ ์ฃผ๋ ฅ ์ ํ์ธ NF3, WF6, SiH4๋ก ๋ํ๋๋ ํน์๊ฐ์ค๋ ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด ๋ฐ ํ์์ ์ง ์ฐ์ ์ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ํ์๋ก ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํน์๊ฐ์ค ์ฌ์ ์ ์ ๋ฐฉ์ฐ์ ์์ ์๊ตฌํ๋ ๊ธฐ ์ ์ ์์ค์ด ๋๊ณ , ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ ์๋๊ฐ ๋น ๋ฅด๋ฏ๋ก, ์ ์ํ ์์ ๋์ ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ์ด ์๊ตฌ๋๋ฉฐ, ๊ฐ๊ฒฉ๊ฒฝ์ ์ญ์ ๊ฐ์ถ ๊ณ ์๋ ์ ํ ๊ฐ๋ฐ์ ๋๋๊ฐ ๋์ ํธ์ด๊ณ , ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ์ ์ฅ๊ธฐ๊ฐ์ด ์์๋ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ๋๊ท๋ชจ ์์ฐ์ค๋น ๊ตฌ์ถ์ ๋ง์ ์๊ธ์ด ์๊ตฌ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ด๋ฌํ ์ด์ ๋ก ํน์๊ฐ์ค ์์ฅ์ ์ฐธ์ฌํ๋ ์ ์ฒด ์๋ ๋น๊ต์ ์ ์ผ๋ฉฐ, ์ ๋ฐฉ์ฐ์ ์ ์ํ ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด ๋ฐ ํ์์ ์ง ์ ์กฐ์ ์ฒด์์ ์ ๋ขฐ ๊ด๊ณ๋ฅผ ๊ตฌ์ถํ ๋ํ ์ ์ฒด๊ฐ ์กด์ฌํ๋ฏ๋ก, ์ ๊ท ์ ์ฒด์ ์์ฅ ์ง์ ์ด ์ด๋ ต์ต๋๋ค.
์ ๋ฐฉ์ฐ์ ์ธ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์ ์ ๊ณต์ ๊ณ ๋ํ ๋ฐ ๊ฒฝ๊ธฐ ๋ณ๋ ๋ฑ์ ์ง์ ์ ์ธ ์ํฅ์ ๋ฐ์ผ๋ฉฐ, ๋ถ์๊ธฐ ์ ์ด, ์ฆ์ฐฉ, ์๊ฐ, ์ธ์ , ๋ํ ๋ฑ์ ๊ณต์ ๊ณผ ๋์ ์์ฌ์ ๋ฐ๋ผ ๋ค์ํ๊ฒ ์ ํ์ด ์กด์ฌํฉ๋๋ค.
์ต๊ทผ์๋ ์ฐจ์ธ๋ ํต์ , ์ธ๊ณต์ง๋ฅ, ์๋์ง ๊ธฐ์ ๋ฑ์ ๋ฐ๋ฌ์ ๋ฐ๋ผ ๋ค์ํ ์ฐ์ ์ ์ฑ์ฅ๊ณผ ํจ๊ป ์์ ์ ๋ง์ด ๋ฐ์ ํธ์ด๊ณ , ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์ ์์๋ ๊ธฐ์ ๊ธฐ๋ฐ์ ๊ธฐ์ ์์ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๊ณ ๋ถ๊ฐ๊ฐ์นํ ๊ฐ ๊ฐ๋ฅํ ์ฐ์ ์ ๋๋ค.
ํน์๊ฐ์ค ์์ฅ์ ํ๋ฐฉ์ฐ์ ์ ๊ธฐ์ด ํํ๋ฌผ์ง ์ ์กฐ์ , ๊ธฐ์ฒด ๋ถ๋ฆฌ๋ง ๋ฐ ์ ํ ์ ์กฐ์ , ๊ธฐ๊ณ์ค๋น ๋ฐ ๋ถํ ์ ์กฐ์ , ๊ฐ์ค ์ ์ฅ ์ฉ๊ธฐ ์ ์กฐ์ ๋ฑ์ด๋ฉฐ, ์ ๋ฐฉ์ฐ์ ์ ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด ๋ฐ ํ์์ ์ง ์ ์กฐ์ ๋ฑ์ด ์์ต๋๋ค.
โผ ํน์๊ฐ์ค
ํน์๊ฐ์ค ์์๋ 2014๋ ํ๋ฐ๊ธฐ ์ดํ, ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๋์คํ๋ ์ด ์์ฅ์ ์ค์ฌ์ผ๋ก ์ง์์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ด๋ฌํ ์์ ์ฆ๊ฐ์ ์์ธ์ผ๋ก๋ ์ฒซ์งธ, ๋ฐ๋์ฒด 3D NAND ์์ฅ์ ๊ฐํ๋ก ์ผ์ฑ์ ์, SKํ์ด๋์ค ๋ฑ ๊ธ๋ก๋ฒ ์ ๋ ๊ธฐ์ ๋ค์ ์ ๊ท Fab ๊ฐ๋์ด ๋ณธ๊ฒฉํ๋์์ผ๋ฉฐ, ๋์งธ, DRAM ๋ฏธ์ธํ ๋ฐ 3D NAND ๋จ์ ์ฆ๊ฐ๋ก ์ธํ ์นฉ๋น ์ ์กฐ ๊ณต์ ์์ ์ฆ๊ฐ, ์ ์งธ, ์ค๊ตญ Local ํจ๋ ์ ์ฒด์ ๋๋ฉด์ LCD ๋ฐ OLED ์ ๊ท ๋ผ์ธ ์ฆ์ค ํฌ์, ๋ท์งธ, ์ ํ ็คพ ๋ฑ์ Flexible OLED ์ถ์์ ๋ฐ๋ฅธ ๋์คํ๋ ์ด ์ ์ฒด๋ค์ ์ ๊ท ์ฆ์ค ํฌ์ ๋ฐ ์ ํ๋น ๊ณต์ ์ ์ฆ๊ฐ์ ๊ธฐ์ธํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก ๋ณผ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ํ, ์ค์ฅ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ๊ธฐ์กด PC, ๋ชจ๋ฐ์ผ ์์๋ณด๋ค ๋ ํฐ ์ฑ์ฅ ์ ์ฌ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง ์ธ๊ณต์ง๋ฅ(AI)๊ณผ ์์จ ์ฃผํ ์๋์ฐจ, ์ฌ๋ฌผ์ธํฐ๋ท(IoT) ๋ฑ์ผ๋ก ๋ฐ๋์ฒด ์์์ฒ๊ฐ ํ๋๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ค์ด ๋ฐ์์ํค๋ ๋ ๊ท๋ชจ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ์ Cloud computing์ ์ํ Data Center์ ์ฆ๋๊ฐ ์ง์์ ์ผ๋ก ๋ฐ๋์ฒด ์์๋ฅผ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ฉฐ, ํ๋ฐฉ์ฐ์ ์ธ ํน์๊ฐ์ค ์์ ์ฆ๊ฐ์๋ ์ํฅ์ ๋ผ์น๊ณ ์์ต๋๋ค.
์์ ์ธก๋ฉด์์ ํน์๊ฐ์ค๋ ๊ธฐ์กด PC, ๋ชจ๋ฐ์ผ์์์ ๋ฐ๋์ฒด/๋์คํ๋ ์ด ์์ ์ฑ์ฅ๊ณผ ํจ๊ป ์ค์ฅ๊ธฐ ์ ์ผ๋ก๋ ์์จ์ฃผํ ์๋์ฐจ์ IoT ํธ๋ ๋์ ์ค์ง ๊ตฌํ ๊ฐ์ํ์ ๋ฐ๋ผ ์ ๋ฐฉ์ฐ์ ์์๊ฐ ๋์ฑ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฆ๊ฐํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ๋ง๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํนํ, ์ค๊ตญ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ ๋ถ ์ง์์ ๋ฐํ์ผ๋ก ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๋์คํ๋ ์ด ์์ฅ์์ Local ํ๋ ์ด์ด๋ค์ ํญ๋ฐ์ ์ธ ์ฑ์ฅ์ผ๋ก, ์์ฅ ์ ๋ฐ์ ๊ท๋ชจ ํ๋๋ฅผ ์์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ ๐ก
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด ํจ๋ ์ ์กฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ํน์๊ฐ์ค์ธ NF3, WF6, SiH4 ๋ฑ ๋ฐ ์ ๊ตฌ์ฒด์ธ High-k, Low-k ํ๋ฆฌ์ปค์ ๋ฑ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ค์ํ ์ฐ์ ๊ตฐ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฐ์ ๊ฐ์ค์ ์กฐ ๋ฐ ํ๋งค ์ฌ์ ์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ์ค๋ฆฝ ์ด๋ ๋์ ์ฑ์ฅ์ฑ๊ณผ ์์ต์ฑ์ด ๊ธฐ๋๋๋ ์ฌ์ ๋ค์ ๋ฐ๊ฒฌํ๊ณ ์ง์ ํ์ฌ ์ ๋์ ์ธ ์์น๋ฅผ ํ๋ณดํ๊ธฐ ์ํด ๋์์์ด ์ฐ๊ตฌ ๋ฐ ๊ฐ๋ฐํ์ฌ NF3์ ์ฒซ ๊ตญ์ฐํ๋ฅผ ์ฑ๊ณต์ํค๋ฉฐ, ํ์ฌ NF3, WF6์ ์์ฐ๋ ๋ฐ ์ธ๊ณ์์ฅ ์ ์ ์จ 1์๋ฅผ ์ฐจ์งํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด ํจ๋ ์ ์กฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ํน์๊ฐ์ค๋ ์๋ ๋คํ์ข ์ผ๋ก ๊ณต๊ธ๋๋ ํน์ฑ์ด ์์ผ๋ฉฐ, 30์ฌ ์ข ์ด์์ ๊ฐ์ค๊ฐ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์์ต๋๋ค.
๋ํ์ ์ผ๋ก๋ ์์นญ ๊ณต์ ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๋ถ์๊ณ ๊ฐ์ค๋ค์ด ์๋ ค์ ธ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ ๋ด์์ ๋ชฉ์ ์ ์ ํฉํ ํน์๊ฐ์ค๊ฐ ์ ํ์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๊ณ , ๋ฐ๋์ฒด์ ์ฃผ์ ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋ณ ์ฌ์ฉ๋๋ ํน์๊ฐ์ค๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ํผํ์ ๊ณต์ ์ ๋จ๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ด๋ จ ์ฌ๋ฃ๋ค์ ์ฌ๋ ค๋๊ธฐ ์ํด ๋ฐ๋ง์ผ๋ก ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํ๋ฉด์ ๋ฎ๋ ์ฝํ ๊ณต์ ์ ๋๋ค.
ํน์๊ฐ์ค๋ฅผ ํ์ฉํด ํํ์ ์ผ๋ก ์ฆ์ฐฉํ๊ธฐ์ ํํ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ ์ผ๋ก, ์ฃผ๋ก ๊ณ ์๋ ์ค๋, ๋ํด๋ก๋ก์ค๋, ๋์ค๋ ๋ฑ์ ํน์๊ฐ์ค๊ฐ ์ฌ์ฉ๋๋ฉฐ, ์ด์ก ๊ธฐ์ฒด๋ก๋ ๊ณ ์๋ ์์์ ์ง์๊ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์์นญ๊ณต์ ์ ์จ์ดํผ์ ๋ถํ์ํ ๋ถ๋ถ์ ํํ๋ฌผ์ง์ด๋ ํน์๊ฐ์ค๋ฅผ ์ฌ์ฉํด ์ ๊ฑฐํด๋ด๋ ๊ณต์ ์ผ๋ก, ํ์ฌ๋ ์ง์ ํ๋ก์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๋์ด๊ธฐ ์ํด ๊ฐ์ค๋ฅผ ํตํ ๊ฑด์ ์์นญ์ด ์ผ๋ฐ์ ์ด๋ฉฐ, ๊ฑด์ ์์นญ์ ๋ค์ ๊ธฐ์ ์์นญ, ํ๋ผ์ค๋ง ์์นญ, ์ด์จ๋น ์์นญ๋ฑ์ผ๋ก ๋ถ๋ฅ๋ฉ๋๋ค.
๊ธฐ์ ์์นญ์ ๊ธฐ์ฒด ์ํ๋ก ์ ์ง๋ ๊ฐ์ค๋ฅผ ์ง์ ๋ฐ๋์ฒด ์จ์ดํผ ์์ ๋ถ์ฌํ์ฌ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ฐฉ์์ผ๋ก, HCl, HF, HBr, SF6, Cl2 ๋ฑ์ด ์ฌ์ฉ๋๋ฉฐ, ํ๋ผ์ฆ๋ง ์์นญ์ ํน์๊ฐ์ค๋ฅผ ๊ฐ์์์ผ ๋ฐฉ์ ํจ์ผ๋ก์ ๊ฐํ ๋ฐ์์ฑ์ ๋ฌผ์ง์ ์์ฑ์์ผ ์๊ฐ ํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก, SiF4, CF4, C3 F8, C2F6, CHF3, CClF3, NF3, ์ฐ์ ๋ฑ์ด ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์ด์จ๋น ์์นญ์ ์ด์จํ๋ ๊ฐ์ค๋ฅผ ์ ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์์์ผ ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ถฉ๋์ ์ ๋์ํด์ผ๋ก์จ ์๊ฐ์ ์ด๋ค๋ด๋ ๋ฐฉ์์ผ๋ก, C3F8, CHF3, CClF3, CF4 ๋ฑ์ ํน์ ๊ฐ์ค๊ฐ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ์ด๋ฌํ ์์นญ๊ณต์ ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์๊ฐ ๊ฐ์ค ์ค์์ ์ ๋ฐํ ์๊ฐ ๋ฅ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์๋ ๋ชจ๋ ธํ ๋ฃจ์ค๋ฅด๋ฉํ, ์ก ๋ถํ ๋ถํ๋์, ๋ ํ๋ฃจ์ค๋ฅด ๋ฉํ ๋ฑ์ ์์ฐํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ํฅ ํ ๋ค์ํ ์๊ฐ Solution์ ์ ๊ณตํ๊ธฐ ์ํด ์ผ๋ณธ ์ผ ์๋ด ์ฝ์ฌ์์ ํ์ ์ ํตํ ์ ์ง๊ธฐ์ ํ๋ณด๋ฅผ ํตํด ๊ตญ๋ด ๋ฐ๋์ฒด ์์ฅ์ ๊ณ ํ์ง์ ์๊ฐ ๊ฐ์ค๋ฅผ ์์ ์ ์ผ๋ก ๊ณต๊ธํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ์ํ๋ํ ๊ณต์ ์ ๋ฐ๋์ฒด ์จ์ดํผ์ ๋ถ์, ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ์ธ, ๋น์ ๋ฑ์ ๋ํํธ๋ฅผ ์ฃผ์ ํ์ฌ ์จ์ดํผ์ ์ ๊ธฐ์ ๋๋ ๊ดํ์ ํน์ฑ์ ๋ณํ์ํค๋ ๊ณต์ ์ผ๋ก, ์ฃผ์ ๋๋ ์์ ์ข ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ ‘Pํ ๋ฐ๋์ฒด’์ ‘Nํ ๋ฐ๋์ฒด’๊ฐ ์ ์กฐ๋ฉ๋๋ค.
๋ํ ๊ณต์ ์๋ AsH3, H2S, GeH3, SeH2, SbH3, AsCl3, AsF3, PH3, BF3 ๋ฑ์ ํน์๊ฐ์ค๊ฐ ์ฌ์ฉ๋๊ณ , ์ด๋๋ง ๊ณต์ ์ ์ด์ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์์ ๋ฐ์ํ ๋ฐ๋์ฒด ์จ์ดํผ ๋ด์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ , ํํ์ ์คํธ๋ ์ค๋ฅผ ๊ณ ์จ์์ ์ด์ฒ๋ฆฌํ์ฌ ์ ๊ฑฐํ๋ ๊ณต์ ์ ๋๋ค.
์จ์ดํผ๋ฅผ ๊ฐ์ดํ ํ ์ถฉ๋ถํ ์๊ฐ ๋์ ์์ํ ๋๊ฐ์์ผ ์ต์ด ์จ์ดํผ๊ฐ ์ง๋ ๋ ๊ฐ์ฅ ์์ ๋ ์ํ๋ก ๋ฌผ์ฑ์ ํ๋ณต์ํค๋ฉฐ, ์ด ๊ณผ์ ์์ ์ง์์ ์์์ ํผํฉ๊ฐ์ค๊ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
ํจ์๋ฒ ์ด์ ๊ณต์ ์ ๋ฐ๋์ฒด ์นฉ์ ํ๋ฉด์ ๋ณดํธ๋ง์ ํ์ฑ์ํค๋ ๊ณต์ ์ผ๋ก, ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ํ๋ฐ๋ถ์ ์งํ๋์ด ์ง์ ํ๋ก์ ๋ณดํธ๋ง ์ญํ ์ ์ํํ๋ฉฐ, ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ฐ์ค๋ก๋ ์ฐ์, SiH4, PH3, SiO2๊ฐ ์์ต๋๋ค.
๋ธ๋์ผํ ๊ณต์ ์ ์์ฑ๋ ๋ฐ๋์ฒด๋ฅผ ํฌ์ฅํ๊ธฐ ์ง์ ์ ์ค์ผ๋ฌผ์ง๋ก๋ถํฐ ๋ฐ๋์ฒด๋ฅผ ๋ณดํธํ๊ธฐ ์ํ ๊ณต์ ์ผ๋ก, ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ฐ์ค๋ก๋ ๋ถํ์ฑ๊ธฐ์ฒด์ธ ์๋ฅด๊ณค, ํฌ๋ฅจ, ์ง์ ๋ฑ์ ๊ฐ์ค๊ฐ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
โ ํน์๊ฐ์ค ์ ์กฐ ๊ณต์
ํน์๊ฐ์ค์ ์ ์กฐ๋ ๊ฐ ํน์๊ฐ์ค์ฉ ํก์ฐฉ ์นผ๋ผ์ ์ด์ฉํ ํก์ฐฉ/์ ์ ๋ฐฉ์์ ํตํด ๊ณ ์๋์ ๊ฐ์ค๋ฅผ ์ป์ผ๋ฉฐ, ์ด์ ํผ/๋ฐฐํฉ์ ํตํด ํผํฉ๊ฐ์ค๋ฅผ ์ ์กฐํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๊ฐ์ฅ ๋จผ์ ๊ณต๊ธฐ ๋ถ๋ฆฌ์ฅ์น์ ๊ณต๊ธฐ ์ ํ๊ธฐ๋ฅผ ๊ฑฐ์น ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ๊ณ ์์ผ๋ก ์์ถ ์ฃผ์ ํ๋ฉด, ํก์ฐฉ์ ๊ฐ ์ถฉ์ง ๋์ด ์๋ ์นผ๋ผ์ ํต๊ณผํ๋ฉด์ ์ฐ ์์ ์ง์๋ง์ ๋ถ๋ฆฌ์ํค๋ฉฐ, ๋ถ๋ฆฌ๋ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ๊ทน์ ์จ์ผ๋ก ๋๊ฐํ๋ฉด, ๋ถ๋ถ ์กํ ๋ฐ ๊ณ ์ ์ฆ๋ฅ๊ธฐ๋ฅผ ํตํด ์ฐ์์ ์ง์๊ฐ ๋ถ๋ฆฌ๋ฉ๋๋ค.
์ด๋ฅผ ์กํ ๊ณต๊ธํ๊ฑฐ๋ ํ์ดํ๋ผ์ธ์ผ๋ก ์ด์ก์ํค๋ฉฐ, ์ด๋ ๊ฒ ์์ฐ๋ ๊ณ ์๋ ์ฐ์ ๋ฐ ์ง์๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ๊ณต์ ์์ ๋จ๋ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๊ธฐ๋ ํ๊ณ , ์ฐํ๋ง ํ์ฑ์ฉ ๊ฐ ์ค, ์ด๋ฐ ๊ฐ์ค๋ฑ์ ํผํฉ๊ฐ์ค๋ก๋ ์ด์ฉํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํน์๊ฐ์ค์ ๊ฒฝ์ฐ, ์์ ์๋ฃ๋ฅผ ํฌํจํ ํํฉ๋ฌผ์ ์ฆ๋ฅ์ํจ ํ ์๊ธฐ ์ ์กฐ๊ณผ์ ์ ํตํด ๋ชฉ์ ์ ๋ง๋ ํน์๊ฐ์ค๋ฅผ ์ ์กฐํ๋ฉฐ, NF3 ๊ฐ์ค๋ NH3์ ์ ์ ๋ HF๋ฅผ ๊ณ ์จ, ๊ณ ์ ๋ฐ์์ ํตํด ๋ฐ๋ณต ์ถ์ถํ์ฌ ์ ์ ์ํค๋ ๊ณผ์ ์ ํตํด ์๋๋ฅผ ์ฌ๋ ค ์ ์กฐ๋ฉ๋๋ค.
BF3 ๊ฐ์ค๋ ๊ณต์ ์ค SO2, O2, N2, CH4 ๋ฑ ๋ถ์๋ฌผ์ ์ ๊ฑฐ๋ฅผ ์ํด ํก์ฐฉ์ ๊ฐ ์ถฉ์ง ๋์ด ์๋ ํก์ฐฉ ์นผ๋ผ์ ํต๊ณผ์ํค๋ฉด์ ์ ์ ๋ฐ ์ ์กฐ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
๐_Point
SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด ํจ๋ ์ ์กฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ํน์๊ฐ์ค ๋ฐ ์ ๊ตฌ์ฒด, ๋ค์ํ ์ฐ์ ๊ตฐ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฐ์ ๊ฐ์ค ์ ์กฐ ๋ฐ ํ๋งค ์ฌ์ ์ ์ฃผ๋ ฅ์ผ๋ก ์ด์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๊ทธ์ค์์๋ ํน์ ๊ฐ์ ๋ถ๋ถ์์ NF3์ ์ฒซ ๊ตญ์ฐํ์ ์ฑ๊ณตํ์ฌ, NF3 ๋ฐ WF6์ ์์ฐ๋๊ณผ ์์ฅ์ ์ ์จ ์ธ๊ณ 1์ ์ ์ฒด๋ก, ์ ๊ณ ๊ธฐ์ ๋ ฅ ๋ฐ ์์ ์ ์ธ ์ฑ์ฅ๋ ฅ์ ๋ณด์ฌ์ฃผ๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํน์๊ฐ์ค ์ด์ธ์๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ๊ธฐ์ฐจ๋ฑ ๋ค์ํ ๊ธฐ์ ์ ๋ณด์ ํ๊ณ ์๋ SK๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ์ ๊ด์ฌ์ ๊ฐ์ ธ๋ณด๋ ๊ฒ๋ ์ข์ ๊ฒ ๊ฐ์ต๋๋ค.
๐ ์นด์นด์ค ๋ทฐ ์ฑ๋ ๊ฐ์คํ์ด์! ์น๊ตฌ ์ถ๊ฐ ๋ถํ๋๋ฆฝ๋๋ค ๐
http://pf.kakao.com/_rxdkTbํธ๋ฆฌ๋ง์
์ฃผ์ โช ์ฝ์ธ โช ์ฌํ ํฌ โช ๋ถ๋์ฐ ์ฌํ ํฌ๋ฅผ ํ๊ณ ์๋ ํธ๊ธฐ์ฌ ๋ง์ ๋ถ์คํฐ ์ ๋๋ค!
pf.kakao.com
๊ณต๊ฐ(ํํธ), ๊ตฌ๋ ์ ์ ์ ์ถ์ ์๋๋ ฅ์ ๋๋ค!๐
๊ณต๊ฐ(ํํธ), ๊ตฌ๋ ๋ถํ๋๋ฆฝ๋๋ค! ๐
๋ณธ ๊ธ์ ๊ธฐ์ ๊ณต๋ถ ๋ฐ ํฌ์ํ๋จ์ ์ํ ์ฐธ๊ณ ์ฉ ๊ธ์ด๋ฉฐ ํฌ์์์ค์ ๋ํ ์ฑ ์์ ์์ต๋๋ค.์์์๊ฒฝ์ , ์ฃผ๊ฐ ๊ฒฝ์ ์ง ์จ๋ผ์ธ ๋ฐฉ๋ฌธ์ ์ 1์ ๐
์์์๊ฒฝ์ , ์ฃผ๊ฐ ๊ฒฝ์ ์ง ์จ๋ผ์ธ ๋ฐฉ๋ฌธ์ ์ 1์ ๐
์๋ ํ์ธ์! ํธ๊ธฐ์ฌ ๋์ฅ ๋ถ์คํฐ์ ๋๋ค. ๐ ๋ ์ ์ฌ๋ฌ๋ถ๋ค ์ด์ ํ๋ฃจ๋ ํ๋ณตํ๊ฒ ๋ณด๋ด์ จ๋์! ์ฆ๊ฑฐ์ด ์์นจ์ ๋๋ค ใ ํ์ฃผ์ ๋ฐ์ด์์ด ์ง๋๊ฐ๋ค์ ใ ์ด๋ฒ ์ฃผ๋ ๊ทธ๋ฅ ์ด,,, ์ด,,, ํ๋ค ๋ณด๋ ์ง๋
booster00.tistory.com
728x90๋ฐ์ํLIST'์ฃผ์ ๋ ธํธ > ํ๋ฃจ 3๋ถ ์ฃผ์' ์นดํ ๊ณ ๋ฆฌ์ ๋ค๋ฅธ ๊ธ
ํด๋ค์์จ, ๋ง ์ฐ๊ณ ๋ถ๋ฌธ ์์ฅ ์ ์ ์จ 1์ ๐ (10) 2022.05.15 THQ, ์ต์ด ์ด๋ํต์ ์ํ ๋ ์ ์กฐ ๐ก (8) 2022.05.14 ์์์๊ฒฝ์ , ์ฃผ๊ฐ ๊ฒฝ์ ์ง ์จ๋ผ์ธ ๋ฐฉ๋ฌธ์ ์ 1์ ๐ (8) 2022.05.12 ๋ฐ๋ฅธ์, ๋ด์คํธ๊ฐ๋ '๊ธฐ์์ถฉ' ์ ๊ทน ํฌ์ ๐ (8) 2022.05.11 ์๋ฆผ์์ํํธ๋ฉ, ๊ตญ๋ด ์ต์ด ํ๊ตญํ ERP ๊ตฌ์ถํ ๊ธฐ์ ๐ (10) 2022.05.10