• 2022. 5. 13.

    by. ๋ถ€์Šคํ„ฐ

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    ์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š”! ํ˜ธ๊ธฐ์‹ฌ ๋Œ€์žฅ ๋ถ€์Šคํ„ฐ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๐Ÿš€

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    ๐Ÿ’– ์นด์นด์˜ค ๋ทฐ ์ฑ„๋„ ๊ฐœ์„คํ–ˆ์–ด์š”! ์นœ๊ตฌ ์ถ”๊ฐ€ ๋ถ€ํƒ๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.

     

    ํŠธ๋ฆฌ๋งˆ์ œ

    ์ฃผ์‹ โ–ช ์ฝ”์ธ โ–ช ์žฌํ…Œํฌ โ–ช ๋ถ€๋™์‚ฐ ์žฌํ…Œํฌ๋ฅผ ํ•˜๊ณ ์žˆ๋Š” ํ˜ธ๊ธฐ์‹ฌ ๋งŽ์€ ๋ถ€์Šคํ„ฐ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค!

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    ํ˜ธ๊ธฐ์‹ฌ ๋งŽ์€ ๊ณ ๋“ฑํ•™์ƒ์˜ ์ฒซ ๊ฒฝํ—˜(2)

    ๊ณ ๋“ฑํ•™๊ต ๋•Œ ํ•™๊ต์ƒํ™œ์„ ์—ด์‹ฌํžˆ ํ•  ๋•Œ์˜€๋‹ค. ๊ทธ ์‹œ์ ˆ ๋‚˜๋Š” ํ˜ธ๊ธฐ์‹ฌ์ด ์•„์ฃผ ๋งŽ๊ณ , ์ ๊ทน์ ์ธ ํ•™์ƒ์ด์—ˆ๋‹ค. ์šฐ์—ฐํ•œ ๊ธฐํšŒ๋กœ ํšŒ์žฅ ์„ ๊ฑฐ์— ๋‹น์„ ๋˜์–ด ๋”์šฑ ์•Œ์ฐจ๊ณ  ์žฌ๋ฏธ์žˆ๋Š” ํ•™๊ต ์ƒํ™œ์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ

     

     

     

     

    SK๋จธํ‹ฐ๋ฆฌ์–ผ์ฆˆ

     

     

     

    SK๋จธํ‹ฐ๋ฆฌ์–ผ์ฆˆ๋Š” 1982๋…„์— ์„ค๋ฆฝ๋œ ๊ธฐ์—…์œผ๋กœ 1999๋…„์— ์ƒ์žฅ๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

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    ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค ์‹œ์žฅ์˜ ํ›„๋ฐฉ์‚ฐ์—…์€ ๊ธฐ์ดˆ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์ œ์กฐ์—…, ๊ธฐ์ฒด ๋ถ„๋ฆฌ๋ง‰ ๋ฐ ์ œํ’ˆ ์ œ์กฐ์—…, ๊ธฐ๊ณ„์„ค๋น„ ๋ฐ ๋ถ€ํ’ˆ ์ œ์กฐ์—…, ๊ฐ€์Šค ์ €์žฅ ์šฉ๊ธฐ ์ œ์กฐ์—… ๋“ฑ์ด๋ฉฐ, ์ „๋ฐฉ์‚ฐ์—…์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด, ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ๋ฐ ํƒœ์–‘์ „์ง€ ์ œ์กฐ์—… ๋“ฑ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

    โ—ผ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค

     

    ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค ์ˆ˜์š”๋Š” 2014๋…„ ํ•˜๋ฐ˜๊ธฐ ์ดํ›„, ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ฐ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์‹œ์žฅ์„ ์ค‘์‹ฌ์œผ๋กœ ์ง€์†์ ์œผ๋กœ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

    ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ˆ˜์š” ์ฆ๊ฐ€์˜ ์›์ธ์œผ๋กœ๋Š” ์ฒซ์งธ, ๋ฐ˜๋„์ฒด 3D NAND ์‹œ์žฅ์˜ ๊ฐœํ™”๋กœ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž, SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค ๋“ฑ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ์„ ๋‘ ๊ธฐ์—…๋“ค์˜ ์‹ ๊ทœ Fab ๊ฐ€๋™์ด ๋ณธ๊ฒฉํ™”๋˜์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ๋‘˜์งธ, DRAM ๋ฏธ์„ธํ™” ๋ฐ 3D NAND ๋‹จ์ˆ˜ ์ฆ๊ฐ€๋กœ ์ธํ•œ ์นฉ๋‹น ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์ˆ˜์˜ ์ฆ๊ฐ€, ์…‹์งธ, ์ค‘๊ตญ Local ํŒจ๋„ ์—…์ฒด์˜ ๋Œ€๋ฉด์  LCD ๋ฐ OLED ์‹ ๊ทœ ๋ผ์ธ ์ฆ์„ค ํˆฌ์ž, ๋„ท์งธ, ์• ํ”Œ ็คพ ๋“ฑ์˜ Flexible OLED ์ถœ์‹œ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์—…์ฒด๋“ค์˜ ์‹ ๊ทœ ์ฆ์„ค ํˆฌ์ž ๋ฐ ์ œํ’ˆ๋‹น ๊ณต์ •์ˆ˜ ์ฆ๊ฐ€์— ๊ธฐ์ธํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๋กœ ๋ณผ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

    ๋˜ํ•œ, ์ค‘์žฅ๊ธฐ์ ์œผ๋กœ ๊ธฐ์กด PC, ๋ชจ๋ฐ”์ผ ์ˆ˜์š”๋ณด๋‹ค ๋” ํฐ ์„ฑ์žฅ ์ž ์žฌ๋ ฅ์„ ๊ฐ€์ง„ ์ธ๊ณต์ง€๋Šฅ(AI)๊ณผ ์ž์œจ ์ฃผํ–‰ ์ž๋™์ฐจ, ์‚ฌ๋ฌผ์ธํ„ฐ๋„ท(IoT) ๋“ฑ์œผ๋กœ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ˆ˜์š”์ฒ˜๊ฐ€ ํ™•๋Œ€๋˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ด๋“ค์ด ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š” ๋Œ€ ๊ทœ๋ชจ ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ฒ˜๋ฆฌ์™€ Cloud computing์„ ์œ„ํ•œ Data Center์˜ ์ฆ๋Œ€๊ฐ€ ์ง€์†์ ์œผ๋กœ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ˆ˜์š”๋ฅผ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ค๋ฉฐ, ํ›„๋ฐฉ์‚ฐ์—…์ธ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค ์ˆ˜์š” ์ฆ๊ฐ€์—๋„ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ผ์น˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.




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    ํŠนํžˆ, ์ค‘๊ตญ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ •๋ถ€ ์ง€์›์„ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ฐ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์‹œ์žฅ์—์„œ Local ํ”Œ๋ ˆ์ด์–ด๋“ค์˜ ํญ๋ฐœ์ ์ธ ์„ฑ์žฅ์œผ๋กœ, ์‹œ์žฅ ์ „๋ฐ˜์˜ ๊ทœ๋ชจ ํ™•๋Œ€๋ฅผ ์˜ˆ์ƒํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

     

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    SK๋จธํ‹ฐ๋ฆฌ์–ผ์ฆˆ๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด, ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ํŒจ๋„ ์ œ์กฐ์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค์ธ NF3, WF6, SiH4 ๋“ฑ ๋ฐ ์ „๊ตฌ์ฒด์ธ High-k, Low-k ํ”„๋ฆฌ์ปค์„œ ๋“ฑ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‚ฐ์—…๊ตฐ์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์‚ฐ์—…๊ฐ€์Šค์ œ์กฐ ๋ฐ ํŒ๋งค ์‚ฌ์—…์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

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    ๋ฐ˜๋„์ฒด, ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ํŒจ๋„ ์ œ์กฐ์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๋Š” ์†Œ๋Ÿ‰ ๋‹คํ’ˆ์ข…์œผ๋กœ ๊ณต๊ธ‰๋˜๋Š” ํŠน์„ฑ์ด ์žˆ์œผ๋ฉฐ, 30์—ฌ ์ข… ์ด์ƒ์˜ ๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

    ๋Œ€ํ‘œ์ ์œผ๋กœ๋Š” ์—์นญ ๊ณต์ •์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๋ถˆ์†Œ๊ณ„ ๊ฐ€์Šค๋“ค์ด ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ • ๋‚ด์—์„œ ๋ชฉ์ ์— ์ ํ•ฉํ•œ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ , ๋ฐ˜๋„์ฒด์˜ ์ฃผ์š” ์ œ์กฐ ๊ณต์ •๋ณ„ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์‚ดํŽด๋ณด๋ฉด, ์—ํ”ผํƒ์‹œ ๊ณต์ •์€ ๋‹จ๊ฒฐ์ • ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์œ„์— ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ด€๋ จ ์žฌ๋ฃŒ๋“ค์„ ์˜ฌ๋ ค๋†“๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋ฐ•๋ง‰์œผ๋กœ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์˜ ํ‘œ๋ฉด์„ ๋ฎ๋Š” ์ฝ”ํŒ… ๊ณต์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

     

    ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๋ฅผ ํ™œ์šฉํ•ด ํ™”ํ•™์ ์œผ๋กœ ์ฆ์ฐฉํ•˜๊ธฐ์— ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ์ฃผ๋กœ ๊ณ ์ˆœ๋„ ์‹ค๋ž€, ๋””ํด๋กœ๋กœ์‹ค๋ž€, ๋””์‹ค๋ž€ ๋“ฑ์˜ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋ฉฐ, ์ด์†ก ๊ธฐ์ฒด๋กœ๋Š” ๊ณ ์ˆœ๋„ ์ˆ˜์†Œ์™€ ์งˆ์†Œ๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

     

    ์—์นญ๊ณต์ •์€ ์›จ์ดํผ์— ๋ถˆํ•„์š”ํ•œ ๋ถ€๋ถ„์„ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์ด๋‚˜ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•ด ์ œ๊ฑฐํ•ด๋‚ด๋Š” ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ํ˜„์žฌ๋Š” ์ง‘์ ํšŒ๋กœ์˜ ์ •๋ฐ€๋„๋ฅผ ๋†’์ด๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ํ†ตํ•œ ๊ฑด์‹ ์—์นญ์ด ์ผ๋ฐ˜์ ์ด๋ฉฐ, ๊ฑด์‹ ์—์นญ์€ ๋‹ค์‹œ ๊ธฐ์ƒ ์—์นญ, ํ”Œ๋ผ์Šค๋งˆ ์—์นญ, ์ด์˜จ๋น” ์—์นญ๋“ฑ์œผ๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

     

     

    ๊ธฐ์ƒ ์—์นญ์€ ๊ธฐ์ฒด ์ƒํƒœ๋กœ ์œ ์ง€๋œ ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์ง์ ‘ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์›จ์ดํผ ์ƒ์— ๋ถ„์‚ฌํ•˜์—ฌ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ, HCl, HF, HBr, SF6, Cl2 ๋“ฑ์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜๋ฉฐ, ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ์—์นญ์€ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๋ฅผ ๊ฐ์••์‹œ์ผœ ๋ฐฉ์ „ํ•จ์œผ๋กœ์„œ ๊ฐ•ํ•œ ๋ฐ˜์‘์„ฑ์˜ ๋ฌผ์งˆ์„ ์ƒ์„ฑ์‹œ์ผœ ์‹๊ฐ ํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ, SiF4, CF4, C3 F8, C2F6, CHF3, CClF3, NF3, ์‚ฐ์†Œ ๋“ฑ์ด ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

    ์ด์˜จ๋น” ์—์นญ์€ ์ด์˜จํ™”๋œ ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์ „๊ธฐ์ ์œผ๋กœ ๊ฐ€์†์‹œ์ผœ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ๋ฌผ๋ฆฌ์  ์ถฉ๋Œ์„ ์œ ๋„์‹œํ‚ด์œผ๋กœ์จ ์‹๊ฐ์„ ์ด๋ค„๋‚ด๋Š” ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ, C3F8, CHF3, CClF3, CF4 ๋“ฑ์˜ ํŠน์ˆ˜ ๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

    SK๋จธํ‹ฐ๋ฆฌ์–ผ์ฆˆ๋Š” ์ด๋Ÿฌํ•œ ์—์นญ๊ณต์ •์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์‹๊ฐ ๊ฐ€์Šค ์ค‘์—์„œ ์ •๋ฐ€ํ•œ ์‹๊ฐ ๋Šฅ๋ ฅ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ๋Š” ๋ชจ๋…ธํ”Œ ๋ฃจ์˜ค๋ฅด๋ฉ”ํƒ„, ์œก ๋ถˆํ™” ๋ถ€ํƒ€๋””์—”, ๋”” ํ”Œ๋ฃจ์˜ค๋ฅด ๋ฉ”ํƒ„ ๋“ฑ์„ ์ƒ์‚ฐํ•˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ํ–ฅ ํ›„ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‹๊ฐ Solution์„ ์ œ๊ณตํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์ผ๋ณธ ์‡ผ ์™€๋ด ์ฝ”์‚ฌ์™€์˜ ํ˜‘์—…์„ ํ†ตํ•œ ์„ ์ง„๊ธฐ์ˆ  ํ™•๋ณด๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๊ตญ๋‚ด ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‹œ์žฅ์— ๊ณ ํ’ˆ์งˆ์˜ ์‹๊ฐ ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์•ˆ์ •์ ์œผ๋กœ ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

    ๋ฐ˜์‘ํ˜•

     

     

    ๋„ํ•‘ ๊ณต์ •์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์›จ์ดํผ์— ๋ถ•์†Œ, ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„, ์ธ, ๋น„์†Œ ๋“ฑ์˜ ๋„ํŽ€ํŠธ๋ฅผ ์ฃผ์ž…ํ•˜์—ฌ ์›จ์ดํผ์˜ ์ „๊ธฐ์  ๋˜๋Š” ๊ด‘ํ•™์  ํŠน์„ฑ์„ ๋ณ€ํ™”์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ์ฃผ์ž…๋˜๋Š” ์›์†Œ ์ข…๋ฅ˜์— ๋”ฐ๋ผ ‘Pํ˜• ๋ฐ˜๋„์ฒด’์™€ ‘Nํ˜• ๋ฐ˜๋„์ฒด’๊ฐ€ ์ œ์กฐ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

     

    ๋„ํ•‘ ๊ณต์ •์—๋Š” AsH3, H2S, GeH3, SeH2, SbH3, AsCl3, AsF3, PH3, BF3 ๋“ฑ์˜ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ , ์–ด๋‹๋ง ๊ณต์ •์€ ์ด์ „ ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์›จ์ดํผ ๋‚ด์˜ ๋ฌผ๋ฆฌ์ , ํ™”ํ•™์  ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค๋ฅผ ๊ณ ์˜จ์—์„œ ์—ด์ฒ˜๋ฆฌํ•˜์—ฌ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

     

    ์›จ์ดํผ๋ฅผ ๊ฐ€์—ดํ•œ ํ›„ ์ถฉ๋ถ„ํ•œ ์‹œ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ์„œ์„œํžˆ ๋ƒ‰๊ฐ์‹œ์ผœ ์ตœ์ดˆ ์›จ์ดํผ๊ฐ€ ์ง€๋…”๋˜ ๊ฐ€์žฅ ์•ˆ์ •๋œ ์ƒํƒœ๋กœ ๋ฌผ์„ฑ์„ ํšŒ๋ณต์‹œํ‚ค๋ฉฐ, ์ด ๊ณผ์ •์—์„œ ์งˆ์†Œ์™€ ์ˆ˜์†Œ์˜ ํ˜ผํ•ฉ๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

     

     

    ํŒจ์‹œ๋ฒ ์ด์…˜ ๊ณต์ •์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ์˜ ํ‘œ๋ฉด์— ๋ณดํ˜ธ๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์˜ ํ›„๋ฐ˜๋ถ€์— ์ง„ํ–‰๋˜์–ด ์ง‘์ ํšŒ๋กœ์˜ ๋ณดํ˜ธ๋ง‰ ์—ญํ• ์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜๋ฉฐ, ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฐ€์Šค๋กœ๋Š” ์‚ฐ์†Œ, SiH4, PH3, SiO2๊ฐ€ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

    ๋ธ”๋žœ์ผ“ํŒ… ๊ณต์ •์€ ์™„์„ฑ๋œ ๋ฐ˜๋„์ฒด๋ฅผ ํฌ์žฅํ•˜๊ธฐ ์ง์ „์— ์˜ค์—ผ๋ฌผ์งˆ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋ฐ˜๋„์ฒด๋ฅผ ๋ณดํ˜ธํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฐ€์Šค๋กœ๋Š” ๋ถˆํ™œ์„ฑ๊ธฐ์ฒด์ธ ์•„๋ฅด๊ณค, ํ—ฌ๋ฅจ, ์งˆ์†Œ ๋“ฑ์˜ ๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

    โ–  ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค ์ œ์กฐ ๊ณต์ •

     

    ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค์˜ ์ œ์กฐ๋Š” ๊ฐ ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค์šฉ ํก์ฐฉ ์นผ๋Ÿผ์„ ์ด์šฉํ•œ ํก์ฐฉ/์ •์ œ ๋ฐฉ์‹์„ ํ†ตํ•ด ๊ณ ์ˆœ๋„์˜ ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์–ป์œผ๋ฉฐ, ์ด์˜ ํ˜ผ/๋ฐฐํ•ฉ์„ ํ†ตํ•ด ํ˜ผํ•ฉ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์ œ์กฐํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

    ๊ฐ€์žฅ ๋จผ์ € ๊ณต๊ธฐ ๋ถ„๋ฆฌ์žฅ์น˜์— ๊ณต๊ธฐ ์ •ํ™”๊ธฐ๋ฅผ ๊ฑฐ์นœ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ๊ณ ์••์œผ๋กœ ์••์ถ• ์ฃผ์ž…ํ•˜๋ฉด, ํก์ฐฉ์ œ๊ฐ€ ์ถฉ์ง„ ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ์นผ๋Ÿผ์„ ํ†ต๊ณผํ•˜๋ฉด์„œ ์‚ฐ ์†Œ์™€ ์งˆ์†Œ๋งŒ์„ ๋ถ„๋ฆฌ์‹œํ‚ค๋ฉฐ, ๋ถ„๋ฆฌ๋œ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ๊ทน์ €์˜จ์œผ๋กœ ๋ƒ‰๊ฐํ•˜๋ฉด, ๋ถ€๋ถ„ ์•กํ™” ๋ฐ ๊ณ ์•• ์ฆ๋ฅ˜๊ธฐ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์‚ฐ์†Œ์™€ ์งˆ์†Œ๊ฐ€ ๋ถ„๋ฆฌ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

    ์ด๋ฅผ ์•กํ™” ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ํŒŒ์ดํ”„๋ผ์ธ์œผ๋กœ ์ด์†ก์‹œํ‚ค๋ฉฐ, ์ด๋ ‡๊ฒŒ ์ƒ์‚ฐ๋œ ๊ณ ์ˆœ๋„ ์‚ฐ์†Œ ๋ฐ ์งˆ์†Œ๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ๊ณต์ •์—์„œ ๋‹จ๋…์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ธฐ๋„ ํ•˜๊ณ , ์‚ฐํ™”๋ง‰ ํ˜•์„ฑ์šฉ ๊ฐ€ ์Šค, ์šด๋ฐ˜ ๊ฐ€์Šค๋“ฑ์˜ ํ˜ผํ•ฉ๊ฐ€์Šค๋กœ๋„ ์ด์šฉํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

     

    ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค์˜ ๊ฒฝ์šฐ, ์›์†Œ ์›๋ฃŒ๋ฅผ ํฌํ•จํ•œ ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์„ ์ฆ๋ฅ˜์‹œํ‚จ ํ›„ ์ƒ๊ธฐ ์ œ์กฐ๊ณผ์ •์„ ํ†ตํ•ด ๋ชฉ์ ์— ๋งž๋Š” ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์ œ์กฐํ•˜๋ฉฐ, NF3 ๊ฐ€์Šค๋Š” NH3์™€ ์ •์ œ๋œ HF๋ฅผ ๊ณ ์˜จ, ๊ณ ์•• ๋ฐ˜์‘์„ ํ†ตํ•ด ๋ฐ˜๋ณต ์ถ”์ถœํ•˜์—ฌ ์ •์ œ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณผ์ •์„ ํ†ตํ•ด ์ˆœ๋„๋ฅผ ์˜ฌ๋ ค ์ œ์กฐ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

     

    BF3 ๊ฐ€์Šค๋Š” ๊ณต์ • ์ค‘ SO2, O2, N2, CH4 ๋“ฑ ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์˜ ์ œ๊ฑฐ๋ฅผ ์œ„ํ•ด ํก์ฐฉ์ œ๊ฐ€ ์ถฉ์ง„ ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ํก์ฐฉ ์นผ๋Ÿผ์— ํ†ต๊ณผ์‹œํ‚ค๋ฉด์„œ ์ •์ œ ๋ฐ ์ œ์กฐ๋˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

     

     

     

     

    ๐Ÿ”‘_Point

     

     

     

    SK๋จธํ‹ฐ๋ฆฌ์–ผ์ฆˆ๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด, ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ํŒจ๋„ ์ œ์กฐ์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ํŠน์ˆ˜๊ฐ€์Šค ๋ฐ ์ „๊ตฌ์ฒด, ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‚ฐ์—…๊ตฐ์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์‚ฐ์—…๊ฐ€์Šค ์ œ์กฐ ๋ฐ ํŒ๋งค ์‚ฌ์—…์„ ์ฃผ๋ ฅ์œผ๋กœ ์šด์˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

     

    ๊ทธ์ค‘์—์„œ๋„ ํŠน์ˆ˜ ๊ฐ€์ˆ˜ ๋ถ€๋ถ„์—์„œ NF3์˜ ์ฒซ ๊ตญ์‚ฐํ™”์— ์„ฑ๊ณตํ•˜์—ฌ, NF3 ๋ฐ WF6์˜ ์ƒ์‚ฐ๋Ÿ‰๊ณผ ์‹œ์žฅ์ ์œ ์œจ ์„ธ๊ณ„ 1์œ„ ์—…์ฒด๋กœ, ์—…๊ณ„ ๊ธฐ์ˆ ๋ ฅ ๋ฐ ์•ˆ์ •์ ์ธ ์„ฑ์žฅ๋ ฅ์„ ๋ณด์—ฌ์ฃผ๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

     

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