-
์ฃผ์ ๋ ธํธ/ํ๋ฃจ 3๋ถ ์ฃผ์
์ ๋ ๋๋น ๋งค์ถ 370% ์ฑ์ฅ ๐ฅ, ํ์๊ด ์ต๋ ์ํ์ฃผ ๐
2022. 3. 1.
728x90๋ฐ์ํSMALL์๋ ํ์ธ์! ํธ๊ธฐ์ฌ ๋์ฅ ๋ถ์คํฐ์ ๋๋ค. ๐
๋ ์ ์ฌ๋ฌ๋ถ ์ค๋์ ํ๊ตญ 5๋ ๊ตญ๊ฒฝ์ผ์ค ํ๋์ธ 3.1์ ์ ๋๋ค.
์ฆ๊ฑฐ์ด ํด์ผ ๊ฒธ ๋ ๋ฆฝ์ ์ํด ์ ๊ตญ์ง์ฌ๋ถ๋ค์ด ๋ ธ๋ ฅํ์ ๋ ์ ๋๋ค.
์ฝ๋ก๋19๊ฐ ์ฌ๊ฐํด์ 3.1 ์ด๋, ๋ง์ธ์ด๋ ํ์ฌ๋ ๋ชปํ์ง๋ง,,
๋ ๋ฆฝ์ ์ํด ํฌ์ํ์ ๋ง์ ์ ๊ตญ์ง์ฌ๋ถ๋ค๊ป ๊ฐ์ฌ์ ์ธ์ฌ ์ฌ๋ฆฝ๋๋ค.๐
์ ๋ง ๊ฐ์ฌํฉ๋๋ค. ๐ ํญ์ ๊ฐ์ฌํ ๋ง์์ ๊ฐ์ง๊ณ ์ด๊ณ ์๊ณ , ์ ๋ง ์กด๊ฒฝํ๋ฉฐ ์ด๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ง์น ๊ตฌ๋ฆ๋ 3.1์ ์ ์๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ์ค๋ ๋ ์จ๋ ๋น๊ฐ ์ค๊ณ ํ๋ฆฌ๋ค์.
๋ ์ ์ฌ๋ฌ๋ถ ํ๊ทน๊ธฐ ๊ฒ์ํ์๋ ๊ฑฐ ์์ง ์์ผ์ จ์ฃ ?
ํ์ฌ๋ ์ฐธ์ฌ ๋ชปํ์ง๋ง ํ๊ทน๊ธฐ ๊ฒ์๋ ์ ๊ตญ์ง์ฌ๋ถ๋ค๊ป ๋ง์์ ์ ํ๋ ๋ฐฉ์์ด๋, ๊ผญ ํ๊ทน๊ธฐ ๊ฒ์ํด์ฃผ์ธ์!๐
์ค๋ ์๊ฐํด๋๋ฆฌ๊ณ ์ถ์ ๊ธฐ์ ์ ํ์๊ด ๊ด๋ จ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค.
๋ฐ๋ก ์๊ฐํด๋๋ฆฌ๊ฒ ์ต๋๋ค.
๐ ์นด์นด์ค ๋ทฐ ํ์๋์? ๐
๐ ์นด์นด์ค ๋ทฐ ์ฑ๋ ๊ฐ์คํ์ด์! ์น๊ตฌ ์ถ๊ฐ ๋ถํ๋๋ฆฝ๋๋ค ๐ํธ๋ฆฌ๋ง์
์ฃผ์ โช ์ฝ์ธ โช ์ฌํ ํฌ โช ๋ถ๋์ฐ ์ฌํ ํฌ๋ฅผ ํ๊ณ ์๋ ํธ๊ธฐ์ฌ ๋ง์ ๋ถ์คํฐ ์ ๋๋ค!
ํธ๊ธฐ์ฌ ๋ง์ ๊ณ ๋ฑํ์์ ์ฒซ ๊ฒฝํ(2)
๊ณ ๋ฑํ๊ต ๋ ํ๊ต์ํ์ ์ด์ฌํ ํ ๋์๋ค. ๊ทธ ์์ ๋๋ ํธ๊ธฐ์ฌ์ด ์์ฃผ ๋ง๊ณ , ์ ๊ทน์ ์ธ ํ์์ด์๋ค. ์ฐ์ฐํ ๊ธฐํ๋ก ํ์ฅ ์ ๊ฑฐ์ ๋น์ ๋์ด ๋์ฑ ์์ฐจ๊ณ ์ฌ๋ฏธ์๋ ํ๊ต ์ํ์ ํ๊ณ ์์๋ค. ํ ์น
booster00.tistory.com
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ 1993๋ ์ ์ค๋ฆฝ๋์์ต๋๋ค.
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ์ฃผ์ ์ฌ์ ์ ๋ฐ๋์ฒด, ํ์์ ์ง ์ ์กฐ, ๋์คํ๋ ์ด ๋ฑ ๋ค์ํ ์ฌ์ ์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ์ฐจ์ธ๋ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๋์คํ๋ ์ด ๊ณต์ ์ ์ํด ์ ๊ฐ๋ ํ๋ผ์ค๋ง ๊ธฐ์ ์ธ LSP๋ผ๋ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ์๊ณ , ์ฆ์ฐฉ ์ฅ๋น๋ฅผ ํ์ฉํ์ฌ ์ฑ์ฅํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด์ ๋ง ์ฆ์ฐฉ ์ฅ๋น ์ค ์ ํ์ ๋ฐ๊ตฌํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฆ์ฐฉ ๋ฐ ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ ๋ถ์ผ ๋ฑ ํน์ ๊ณต์ ์์ ์ธ๊ณ ์์ฅ ์ ์ ์จ 1์๋ฅผ ์ฐจ์งํ๋ ๋ฑ ๋ ์์ ์ธ ๊ธฐ์ ๋ ฅ์ ๋ณด์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ํต์ฌ์ฅ๋น ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ ๊ฒฝํ์ผ๋ก 2002๋ ๊ตญ๋ด ์ต์ด๋ก ์ต์ฒจ๋จ ๊ธฐ์ ์ ์ง์ฝ์ฒด์ธ LCD์ฉ PECVD ๊ฐ๋ฐ์ ์ฑ๊ณตํ์ฌ, ํ์ฌ ๊ตญ๋ด์ธ ๋์คํ๋ ์ด ํจ๋ ์ ์กฐ๊ธฐ์ ์ ์์ฐ๋ผ์ธ์ 8์ธ๋ ์ฅ๋น๋ฅผ ๊ณต๊ธํ์ฌ ์ฐ์ํ ๊ธฐ์ ๋ ฅ์ ์ธ์ ๋ฐ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ์ํ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง ๐
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ํ์์ ์ง ๋ฐ ๋ชจ๋, ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด, ์กฐ๋ช ๋ฑ ๋ค์ํ ์ฌ์ ๋ถ์ผ์์ ์ฑ์ฅํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ๋ถ์ผ๋ถํฐ ์๊ฐํด๋๋ฆฌ๊ฒ ์ต๋๋ค.
[ ํ์์ ์ง ๋ฐ ๋ชจ๋ ]
์ถ์ฒ : ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ํ์์ ์ง ๋ฐ ๋ชจ๋ ๋ถ์ผ๋ ์ด๋ฏธ 5~8์ธ๋์ ์ด๋ฅด๋ ๋๋ฉด์ Glass์ฉ PECVD ์ฅ๋น ๊ด๋ จ ๊ธฐ์ ๊ฒฝ์๋ ฅ๊ณผ ๊ฐ๋ ฅํ ์ธํ๋ผ๋ฅผ TFT LCD ๋ถ์ผ์์ ํ๋ณดํ์์ต๋๋ค.
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ด๋ ์ ์ฌํ ํ๋์จ์ด๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ํ์์ ์ง ์ ์กฐ์ฅ๋น ์ฌ์ ์ผ๋ก ์ฉ์ดํ๊ฒ ์ง์ ํจ์ผ๋ก์จ ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ฒฝ์์ฐ์๋ฅผ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ ์ ํ์๊ณ , ํ์ฌ ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ๋ฐ๋งํ ํ์์ ์ง ์ ์กฐ์ฅ๋น์ ์จ์ดํผ๋ฅผ ์๋ฃ๋ก ํ๋ ๊ฒฐ์ ํ ํ์์ ์ง ์ ์กฐ์ฅ๋น๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ์ฌ ๊ณต๊ธํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
[ Flexible Solar ํ์๊ด ์ฅ๋น ]
โฝ ํ๋์๋ธ ๋ฐ๋งํ ํ์์ ์ง ์ผ๊ด ์์ฐ์ค๋น๊ฐ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
โฝ ์ธ๊ณ ์ต๊ณ Flexible a-Si:H/μc-Si:H ์ด์ค์ ํฉ ํ์์ ์ง ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค.
[ ๋ฐ๋์ฒด ]
์ถ์ฒ : ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง ๋ฐ๋์ฒด ๋ถ์ผ๋ ๋ง ์ฆ์ฐฉ ์ฅ๋น ์ค ์ ํ์ ๋ฐ๊ตฌํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฆ์ฐฉ ๋ฐ ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ ๋ถ์ผ ๋ฑ ํน์ ๊ณต์ ์์ ์ธ๊ณ ์์ฅ ์ ์ ์จ 1์๋ฅผ ์ฐจ์งํ๋ ๋ฑ ๋ ์์ ์ธ ๊ธฐ์ ๋ ฅ์ ๋ณด์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ์์์ ๊ณ ์ง์ ํ, ๋ฏธ์ธํ์ ๋ฐ๋ผ ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ALD ์ฅ๋น ์์๋ ์ ์ฐจ ์ฆ๊ฐํ ๊ฒ์ผ๋ก ์์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
Poly Etcher ๋ํ DRAM ๋ฐ NAND Flash ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ๋น๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ์ธ Logic Device ์์ญ์๋ ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ๋ฒ์ฉ ์ฅ๋น๋ก ์ ํ์ ๋ค์ํ๊ฒ ๋ณํํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
[SDP CVD ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ]
โฝ ์ธ๊ณ ์ต์ด, ์ต๊ณ ์ ๊ธฐ์ ๋ก ๊ณต๊ฐ๋ถํ ๊ณผ semi-batch๋ฅผ ํตํ ๋จ์ ์์ฐ๋ ๊ธฐ์ .
โฝ Damage Zero์ ์ ๊ฐ๋ ํ๋ผ์ค๋ง ๊ธฐ์ , ๋ฎ์ ์จ๋์์๋ ๊ณ ํ์ง ๋ฐ๋ง์ ํ์ฑ.
[ ๋์คํ๋ ์ด ]
์ถ์ฒ : ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ๋์คํ๋ ์ด๋ ๋ฐ๋์ฒด ํต์ฌ์ฅ๋น ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ ๊ฒฝํ์ผ๋ก 2002๋ ๊ตญ๋ด ์ต์ด๋ก ์ต์ฒจ๋จ ๊ธฐ์ ์ ์ง์ฝ์ฒด์ธ LCD์ฉ PECVD ๊ฐ๋ฐ์ ์ฑ๊ณตํ์๊ณ , ํ์ฌ ๊ตญ๋ด์ธ ๋์คํ๋ ์ด ํจ๋ ์ ์กฐ๊ธฐ์ ์ ์์ฐ๋ผ์ธ์ 8์ธ๋ ์ฅ๋น๋ฅผ ๊ณต๊ธํ์ฌ ์ฐ์ํ ๊ธฐ์ ๋ ฅ์ ์ธ์ ๋ฐ๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ฐจ์ธ๋ ๋์คํ๋ ์ด๋ก ๊ฐ๊ด๋ฐ๊ณ ์๋ OLED(Organic Light Emitting Diodes Display) ๋ถ์ผ์์๋ ๋ด์ง(Encapsulation) ์ฅ๋น ๋ฐ OLED TFT ์ฅ๋น๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ์ฌ ์ธ๊ณ์ ์ธ OLED Panel ์์ฐ ๊ธฐ์ ์ ์์ฐ๋ผ์ธ์ ์ฅ๋น๋ฅผ ๊ณต๊ธํ๊ณ ์๊ณ , ์ฐจ์ธ๋ ๋์คํ๋ ์ด ์ฐ์ ์์๋ ์ธ๊ณ 1๋ฑ ์ฅ๋น๊ธฐ์ ์ด ๋๊ธฐ ์ํด ์ฑ์ฅ ์ค์ ์์ต๋๋ค.
[OLED Encapsulation ๋์คํ๋ ์ด ์ฅ๋น ]
โฝ ์ธ๊ณ ์ต์ด/์ต๊ณ ๋๋ฉด์ ์์ฐ ALD ์ฅ๋น์ ๋๋ค.
โฝ Damage Zero์ ์ ๊ฐ๋ ํ๋ผ์ค๋ง ๊ธฐ์ , ๋ฎ์ ์จ๋์์๋ ๊ณ ํ์ง ๋ฐ๋ง์ ํ์ฑํฉ๋๋ค.
[ ์กฐ๋ช LED & OLED ]
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ์กฐ๋ช ์ LED์ฉ GaN MOCVD ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ OLED ์กฐ๋ช ์ผ๊ด ์์ฐ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ์์ต๋๋ค.
OLED ์กฐ๋ช ์ ์์ฐ๊ด์ ๊ฐ์ฅ ๊ฐ๊น์ด ๊ณ ํจ์จโ์นํ๊ฒฝ ๊ด์์ผ๋ก ์ฌ๋์ ๋์ ํด๋ก์ด ์คํํธ๋ผ ๋ถํฌ๋ฅผ ๊ฐ๊ณ ์์ง ์์ ์ฐจ์ธ๋ ์กฐ๋ช ์ผ๋ก ๊ฐ๊ด๋ฐ๊ณ ์์ต๋๋ค.
[LED GaN MO CVD / SiC EPI ์กฐ๋ช ์ฅ๋น ]
โฝ ์ธ๊ณ ์ต๊ณ ์ ์์ฐ์ฑ, ์ ๊ฐ๋ ์จ๋ ๊ท ์ผ๋ ์กฐ์ ์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
โฝ ๋ ์ฐฝ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ค๋ฅผ ๋ถ๋ฐฐํ๊ณ ๋ฎ์ CoO๋ฅผ ์๋ํฉ๋๋ค.
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง ๐
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ๋ฐ๋์ฒด DRAM Tech Migration์ ์ํ Capacitor์ฉ ALD์ ๊ตฌ์กฐ์ ์ผ๋ก ์ฑ์ฅํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ ๋๋ค.
< Tech Migration โ >
Tech Migration์ DRAM์ ๊ธฐ๋ณธ๊ตฌ์กฐ๋ ํ ๊ฐ์ Transistor์ ํ ๊ฐ์ Capacitor๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์ด ์์ต๋๋ค.
Capacitor๋ ์ ํ ์ ์ฅ ๋ฐ ๋ฐ์ดํฐ ๊ธฐ๋ก ์ญํ ์ ํ๋ฉฐ, Transistor๋ Capacitor์ ์ ํ๋ฅผ ์ฑ์์ฃผ๋ ์ค์์น ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค.
DRAM์์ Tech Migration์ Transistor์ Capacitor์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๊ฐ์์ํค๊ณ ์ ์ ์ฉ๋ (Capacitance)์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ฉด, ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ์จ์ดํผ๋น ์์ฐ ๊ฐ๋ฅํ ์นฉ(Net Die) ์๋ฅผ ์ฆ๊ฐ์ํด์ผ๋ก์จ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฐ๋น์ฉ์ด ๊ฐ์๋๊ณ , ๋ฐ๋์ฒด ์ ์ฒด์ ์์ต์ด ์ฑ์ฅํ๋ ์ฅ์ ์ด ์์ต๋๋ค.๐_Point
์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ๋ฐ๋์ฒด ๋ถ์ผ ์ฆ์ฐฉ ์ฅ๋น ์ค ์ ํ์ ๋ฐ๊ตฌํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฆ์ฐฉ ๋ฐ ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ ๋ถ์ผ ๋ฑ ํน์ ๊ณต์ ์์ ์ธ๊ณ ์์ฅ ์ ์ ์จ 1์, ํ์์ ์ง, ๋์คํ๋ ์ด ์ฌ์ ๋ฑ ๋ค์ํ ์ฌ์ ๋ถ์ผ์์ ์ฑ์ฅํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ต๊ทผ Tech Migration์ ์ํ ALD์ ๊ตฌ์กฐ์ ์ฑ์ฅ, ํด๋๋ธ์ฉ OLED, ALD ๋์ ๊ธฐ๋, ์ ๋ฝ์ ํ์์ ์ง ์ฌ์ ์ฑ์ฅ ๋ฑ ๋ค์ํ ์ด์์ ์ํ๋ฅผ ์์ํ๊ณ ์๊ณ , ์ ๋ ๋๋น ๋งค์ถ์ด 370% ์ด์ ์ฑ์ฅํ ์ฃผ์ฑ์์ง๋์ด๋ง์ ๊ด์ฌ์ ๊ฐ์ ธ๋ณด๋ ๊ฒ๋ ์ข์ ๊ฒ ๊ฐ์ต๋๋ค.
๐ ์นด์นด์ค ๋ทฐ ์ฑ๋ ๊ฐ์คํ์ด์! ์น๊ตฌ ์ถ๊ฐ ๋ถํ๋๋ฆฝ๋๋ค ๐
http://pf.kakao.com/_rxdkTbํธ๋ฆฌ๋ง์
ํธ๊ธฐ์ฌ ๋ง์ ๋ถ์คํฐ ์ ๋๋ค!
pf.kakao.com
๊ณต๊ฐ(ํํธ), ๊ตฌ๋ ์ ์ ์ ์ถ์ ์๋๋ ฅ์ ๋๋ค!๐
๊ณต๊ฐ(ํํธ), ๊ตฌ๋ ๋ถํ๋๋ฆฝ๋๋ค! ๐
๋ณธ ๊ธ์ ๊ธฐ์ ๊ณต๋ถ ๋ฐ ํฌ์ํ๋จ์ ์ํ ์ฐธ๊ณ ์ฉ ๊ธ์ด๋ฉฐ ํฌ์์์ค์ ๋ํ ์ฑ ์์ ์์ต๋๋ค.์์ผ ๐ค ๋์ ST, ๊ฑด์ ์น๋ฃ์ ์ ํ ๋ ์ ๊ณต๊ธ ๐
์์ผ ๐ค ๋์ ST, ๊ฑด์ ์น๋ฃ์ ์ ํ ๋ ์ ๊ณต๊ธ ๐
์๋ ํ์ธ์! ํธ๊ธฐ์ฌ ๋์ฅ ๋ถ์คํฐ์ ๋๋ค. ๐ ์ค๋์ ์ฆ๊ฑฐ์ด ์์์ผ์ ๋๋ค ใ ใ ์ ๋์!! ์ ์ ๋๋ ์์์ผ์ด๋๋ฉด! ๋ด์ผ์ 3์ 1์ผ๋ก ์ฌ๋ ๋ ์ด์์์ ใ ๋ ์ ์ฌ๋ฌ๋ถ๋ค๋ ์ฆ๊ฑฐ์ด ์์์ผ ๋ณด๋ด์ จ๋
booster00.tistory.com
728x90๋ฐ์ํLIST'์ฃผ์ ๋ ธํธ > ํ๋ฃจ 3๋ถ ์ฃผ์' ์นดํ ๊ณ ๋ฆฌ์ ๋ค๋ฅธ ๊ธ
๊ตญ๋ด ์ ์ผํ LTCC ์์ฐ ๊ธฐ์ ๐ง (18) 2022.03.04 ์ต์ด์ ๊ฐํธ ํ๊ธ๊ฑฐ๋ ์๋น์ค ๐ต (11) 2022.03.03 ์์ผ ๐ค ๋์ ST, ๊ฑด์ ์น๋ฃ์ ์ ํ ๋ ์ ๊ณต๊ธ ๐ (32) 2022.02.28 ์ธ๊ณ ์ต์ด DBMS ๊ฐ๋ฐ ๐ ๊ตญ๋ด ์ ์ผ ๊ทธ๋ํ DB ๋ณด์ ๐ (33) 2022.02.27 ํํ ํฌ & ๋ธ๋ก์ฒด์ธ ๐, ์์ ์ ํ์ฅ SBI ๊ทธ๋ฃน โ (24) 2022.02.26