-
μ£Όμ λ ΈνΈ/ν루 3λΆ μ£Όμ
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦, λ°λ체 곡μ μ© νΉμκ°μ€ TOP π
2022. 3. 22.
728x90λ°μνSMALLμλ νμΈμ! νΈκΈ°μ¬ λμ₯ λΆμ€ν°μ λλ€. π
λ μ μ¬λ¬λΆ μμΉ¨μμ¬λ νμ ¨λμ? π₯ͺμ€λμ΄ λ²μ¨ 3μ 22μΌ μ΄μ΄λ€μ,,
λ²μ¨ 2022λ μ΄ λ μ§ 3κ°μμ΄ μ§λκ³ μ΄μ 4μμ΄ μ€λ€μ,,
μκ° μ λ§ μ λ§ λΉ λ₯Έ κ² κ°μ§ μλμ?
2022λ 1μμ΄ 1μΌμ΄ λ λ μ¬ν΄μλ λ νμ§ μ΄κ±Έ ν κ±°μΌ κ³νμ μΈμλ΄€λλ°,,
μ§κΈκΉμ§ μ λλ‘ κ³νλλ‘ μ΄λ£¬ κ²μ΄ μ λ§ μλ κ² κ°μμγ
λ μ μ¬λ¬λΆλ€μ κ³νμ μΈμ°μλ νΈμΈ μ κ°μ?μλλ©΄ λκ° μ¦ν₯μ μΌλ‘ νμλ νΈμ΄μ κ°μ?
μ λ κ·Έλκ·Έλ λ€λ₯Έ κ² κ°μμ!κ·Έλλ κ³νμ μΈμμΌ λ§μμ΄ νΈν κ² κ°μμ,, λ§μλ§,, γ γ γ γ
μ€λ μκ°ν΄λ릴 κΈ°μ μ λ°λ체 κ΄λ ¨ κΈ°μ μ λλ€.λ°λ‘ μκ°ν΄λλ¦¬κ² μ΅λλ€.
π μΉ΄μΉ΄μ€ λ·° νμλμ? π
π μΉ΄μΉ΄μ€ λ·° μ±λ κ°μ€νμ΄μ! μΉκ΅¬ μΆκ° λΆνλ립λλ€ πνΈλ¦¬λ§μ
μ£Όμ βͺ μ½μΈ βͺ μ¬νν¬
νΈκΈ°μ¬ λ§μ κ³ λ±νμμ 첫 κ²½ν(2)
κ³ λ±νκ΅ λ νκ΅μνμ μ΄μ¬ν ν λμλ€. κ·Έ μμ λλ νΈκΈ°μ¬μ΄ μμ£Ό λ§κ³ , μ κ·Ήμ μΈ νμμ΄μλ€. μ°μ°ν κΈ°νλ‘ νμ₯ μ κ±°μ λΉμ λμ΄ λμ± μμ°¨κ³ μ¬λ―Έμλ νκ΅ μνμ νκ³ μμλ€. ν μΉ
booster00.tistory.com
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦λ 2006λ μ μ€λ¦½λ κΈ°μ μ λλ€.
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦λ λ°λ체 λ° λμ€νλ μ΄ ν¨λ μ μ‘° 곡μ μ μ¬μ©λλ νΉμκ°μ€λ₯Ό μ μ‘° λ° νλ§€νλ κΈ°μ μ λλ€.
νμ¬ μ°μ μ© νΉμκ°μ€ μ λ¬ΈκΈ°μ μΌλ‘ κ΅λ΄ μ΅λ IT κΈ°μ ν₯μΌλ‘ λ°λ체 λ° λμ€νλ μ΄ μμ° κ³΅μ μ κΌ νμνκ³ μ¬μ©λλ νΉμκ°μ€λ₯Ό νλ§€νκ³ μμ΅λλ€.
λ μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦κ° 곡κΈνλ νΉμκ°μ€λ λ°λ체, λμ€νλ μ΄ μμ°μ λͺ¨λ μ¬μ©λκ³ , νμ¬ κ³΅κΈνκ³ μλ νΉμκ°μ€ λ©λͺ¨λ¦¬ λ°λμ²΄μΈ Dλ¨κ³Ό NAND νλμ μμ°μ λͺ¨λ μ¬μ©νλ©΄μ μ±μ₯νκ³ μμ΅λλ€.
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦ π
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦λ λ°λ체 λ° λμ€νλ μ΄, κΈ°ν μ°μ μ© νΉμκ°μ€λ₯Ό μλ λ€νμ’ μ£Όλ¬Έμμ°μΌλ‘ μ½ 100μ¬ μ’ μ μμ° νλ§€νκ³ μμ΅λλ€.
μ£Όμ 9κ° νλͺ©μ λ§€μΆ λΉμ€μ΄ μ 체μ 75%λ₯Ό μ°¨μ§νκ³ , λλ¨Έμ§ κΈ°ν κ°μ€ λ§€μΆμ΄ 25%λ₯Ό μ°¨μ§νκ³ μμ΅λλ€.
μ£Όμ μ νμΌλ‘λ λ°λ체 μΈμ μ μ¬μ©λλ F2 Mix, λ°λ§ μ¦μ°©κ³΅μ μ μ¬μ©λλ N20(μ΄μ°νμ§μ), NH3(μλͺ¨λμ), λ°λ체 νλ‘ ν¨ν΄ νμ±μ μν΄ νμ μλ λΆλΆμ μ νμ μΌλ‘ μ κ±°νλ 곡μ λ°λ체 λ°©μμΈ μκ° κ³΅μ μ μ£Όλ‘ ν¬μ λλ C4 F8 λ° Xe(μ λ Όκ°μ€) λ± 5κ°μ μ νμ΄ μμ΅λλ€.
μνμΌλ‘λ μ¨μ΄νΌ μΈμ μ μ°μ΄λ CO2(μ΄μ°ννμ), λ°λ체 λ―ΈμΈκ³΅μ μμ μ€λ¦¬μ½ μ¦μ°©μ©μΌλ‘ μ¬μ©λλ Si2H6(λμ€λ) λ° GeH4 Mix(μ¬μ μν κ²λ₯΄λ§λ), λ°λ체 μ§νλ§ μκ° κ³΅μ μ μ¬μ©λλ CH2F2(λ ν루μ€λ‘ λ©ν) λ± 4κ° μ£Όμ μνμ νλ§€νκ³ μλ€
λ°μν[ νΉμκ°μ€ μ°μ ]
κ΅λ΄ νΉμκ°μ€ μ°μ μ 1975λ μΌμ±μ μ λ°λ체μ μ€λ¦½ μ΄ν 2000λ λ μ΄λ°κΉμ§λ§ ν΄λ κ΅μ°νκ° μ ν μ΄ λ£¨μ΄μ§μ§ μμ μν©μμ Air Products, Praxair, Air Liquid λ± κΈλ‘λ² λ€κ΅μ μ 체λ€μ ν΅ν μμ μ μ λ μμ‘΄νμμ΅λλ€.
μ΄ν μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦λ₯Ό λΉλ‘―ν΄ OCIλ¨Έν°λ¦¬μΌμ¦, νμ± λ± κ΅λ΄μ 체λ€μ΄ μΌλΆ μ νμ λν΄ κ΅μ°νμ μ±κ³΅νλ©΄μ κΈ°μ λ ₯κ³Ό μμ°λ₯λ ₯μ νμΆ©νμ¬ μ μ°¨ μμ μ λ체νκ³ μμ΅λλ€.
κ΅λ΄μ μ§μΆ ν μΈκ΅μ 체λ€μ μμ₯μ μ μ¨μ κ΅λ΄μ 체λ€μ΄ μμ₯μ μ§μ νκΈ° μμν 2004λ 80%μμ 2007λ 70%λλ‘ νλ½νμκ³ νμ¬λ μΌλΆ μ νμ λν΄ λλΆλΆ μμ μ λ체νκ±°λ 50% μ΄λ΄λ‘ μμ μ° μ μ μ¨μ΄ νλ½ν κ²μΌλ‘ μΆμ λ©λλ€.
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦κ° λ°λ체 λ° LCD 곡μ μ°νλ§ μ¦μ°©μ μ°μ΄λ μ΄μ°νμ§μλ₯Ό 2003λ κ΅μ°ννλ° μ΄μ΄ 2004λ μλ μλͺ¨λμ, 2005λ μλ λ°λ체/λμ€νλ μ΄ μ 쑰곡μ μ€ μκ°(Etching) 곡μ μ μ°μ΄λ C4 F8 κ°μ€λ₯Ό κ΅μ°ννμμΌλ©° 2018λ μλ μ λ μμ μ μμ‘΄νλ μ λ Όκ°μ€λ κ΅μ°νμ μ±κ³΅νμμ΅λλ€.
[ κ΅λ΄ νΉμκ°μ€ μμ₯ ]
κ΅λ΄ νΉμκ°μ€ μμ₯μ μΌμ±μ μμ μ΄μ΄ SKνμ΄λμ€κ° λ©λͺ¨λ¦¬ λ°λ체 μ€λΉλ₯Ό νμΆ©νλ©΄μ λ°λ체μ μ£Όμ 곡 μ μ€μμ μ¦μ°©, μΈμ , λ Έκ΄, μκ°(μμΉ) λ±μ μ¬μ©λμ΄ νλλκ³ μμ΅λλ€.
λ°λ체 곡μ μμ μμ°λΉ μ κ° λ± ν¨ μ¨μ±μ κ·ΉλννκΈ° μν΄ μ¨μ΄νΌμ μ¬μ΄μ¦κ° λννλκ³ μμΌλ©°, DRAM μ λ¨ κ³΅μ μ λλ Έ λ¨μ λ―ΈμΈνκ° μ§ ν λκ³ 3D NAND Flashμ 100~200λ¨ κ³ λ¨ν μ μΈ΅ κ²½μ λ° Double Stacking(μΉ©μ μ§μ λ ν₯μμ μν΄ 2 λ¨μΌλ‘ μμ λΆμ΄λ 곡λ²) λ± μ²¨λ¨κΈ°μ μ΄ μ±νλλ©΄μ νΉμκ°μ€ μλΉλμ΄ μ§μμ μΌλ‘ μ¦κ°νκ³ μμ΅λλ€.
λ°λ체 곡μ μ μ¬μ©λλ κ°μ€λ κΈ°μ‘΄ λ―ΈμΈνκ° μ§νλκΈ° μ μλ μ‘체μνμ μΌλ―Έμ»¬μ μ΄μ©νλ μ΅μλ°©μμ΄ μ¬μ©λκΈ°λ νλλ° μ΅κ·Όμλ νλ‘μ νμ΄ 3~5 λλ Έλ―Έν°κΉμ§ λ―ΈμΈνλλ©΄μ μ΅μλ°©μμΌλ‘λ μ‘μ²΄κ° νλ‘μ νμ κΉκ² μΉ¨ν¬νμ§ λͺ»ν΄ 건μλ°©μμΈ νΉμκ°μ€ μλΉλμ΄ μ¦κ°ν μλ°μ μλ μν©μ λλ€.π_Point
μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦λ κ΅λ΄ λ°λ체 λ° λμ€νλ μ΄ κ³΅μ μ© κ³ μλ νΉμκ°μ€λ₯Ό μμ°νκ³ νλ§€νλ κ΅λ΄ λν κΈ°μ μ λλ€.
μ£Όμ κ³ κ°μ¬λ‘ SKνμ΄λμ€, μΌμ±μ μκ° μμ΅λλ€.
μΌμ±μ μλ νμ¬ ννμ 2 곡μ₯μ 본격 κ°λνκ³ , P3~P5 곡μ₯μ μΆκ°λ‘ 건μ€ν κ³νμ λλ€.
μΌμ±μ μκ° μ£Όμ κ³ κ°μΌλ‘ λ°λμ²΄μ© νΉμκ°μ€ λ§€μΆμ 80%λ₯Ό μ°¨μ§νκ³ μκ³ , μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦κ° μνλ₯Ό λ³Ό κ²μΌλ‘ 보μ λλ€.
μμΌλ‘ νΉμ κ°μ μμλ μ¦κ°νκ³ λ€μν νΉμκ°μ€ κ°λ°μ μν΄ λ Έλ ₯νκ³ μλ μμ΅λ¨ΈνΈλ¦¬μΌμ¦μ κ΄μ¬μ κ°μ Έλ³΄λ κ²λ μ’μ κ² κ°μ΅λλ€.
π μΉ΄μΉ΄μ€ λ·° μ±λ κ°μ€νμ΄μ! μΉκ΅¬ μΆκ° λΆνλ립λλ€ π
http://pf.kakao.com/_rxdkTbνΈλ¦¬λ§μ
νΈκΈ°μ¬ λ§μ λΆμ€ν° μ λλ€!
pf.kakao.com
곡κ°(ννΈ), ꡬλ μ μ μ μΆμ μλλ ₯μ λλ€!π
곡κ°(ννΈ), ꡬλ λΆνλ립λλ€! π
λ³Έ κΈμ κΈ°μ κ³΅λΆ λ° ν¬μνλ¨μ μν μ°Έκ³ μ© κΈμ΄λ©° ν¬μμμ€μ λν μ± μμ μμ΅λλ€.νλκΈ°μ , μΈκ³μ΅μ΄ λ°λ체 μ μ§ μ‘°λ¦½ π
νλκΈ°μ , μΈκ³μ΅μ΄ λ°λ체 μ μ§ μ‘°λ¦½ π
μλ νμΈμ! νΈκΈ°μ¬ λμ₯ λΆμ€ν°μ λλ€. π λ μ μ¬λ¬λΆ ν볡ν μ£Όλ§ λ³΄λ΄μ ¨λμ? μ£Όλ§μ λμ΄ μ€λ©΄μ κ°μμ€λ½κ² λ μ¨κ° λ μΆμμ§ κ² κ°μ΅λλ€ γ γ 겨μΈλ λ€μ§λκ°λ€κ³ μκ°νλλ° 3μμ
booster00.tistory.com
728x90λ°μνLIST'μ£Όμ λ ΈνΈ > ν루 3λΆ μ£Όμ' μΉ΄ν κ³ λ¦¬μ λ€λ₯Έ κΈ
λͺ¨λΉμ€, μ΅μ΄λ‘ κ΅μ ν΅μ΅ν©μ€νλ‘ μ μμ₯μΉ λ§μ€ν° π₯ (12) 2022.03.24 μΏ μ½, λνλ―Όκ΅ λλΆλΆ κΈ°μ λ€μ΄ μ¬μ©νλ API κΈ°μ π (10) 2022.03.23 νλκΈ°μ , μΈκ³μ΅μ΄ λ°λ체 μ μ§ μ‘°λ¦½ π (14) 2022.03.21 μμ΄μ€μ¨, νμ AMI μ¬μ μ μ μ¨ No.1 π (25) 2022.03.20 μμ§μμ€ν , λ°μ΄λ λν΅λ Ήλ κ΄μ¬μλ ESS μμ₯ π (8) 2022.03.18